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石墨烯压力传感器

1178   编辑:管理员   来源:中冶有色网  
2023-03-18 15:08:02
一种石墨烯压力传感器,主要结构由纳米膜、互连电极、引线柱、基片、封装外壳、陶瓷基座、密封环组成。检测由纳米膜、基片、互连电极组成,纳米膜由上下两层氮化硼与夹在其中的石墨烯组成,布置在基片下表面,基片上部刻蚀形成了凹形结构,下部与陶瓷基座通过金属键合形成无氧真空腔,隔绝了纳米膜与外界的直接接触,为其提供无氧防护,互连电极由互连凸点键合互连焊盘组成,通过引线柱将检测单元与外部相连,氮化硼/石墨烯/氮化硼三层纳米薄膜既是器件的功能材料,又是其结构材料,器件最高可稳定工作于1000℃的高温环境,重复性好、可靠性高,耐酸碱、抗腐蚀,可应用于动态、静态高温测试环境,显著提升高温区间。
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