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能够提升介电性能的压电薄膜生产工艺

940   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:08:02
本发明公开了一种能够提升介电性能的压电薄膜生产工艺，具体涉及功能材料制备技术领域。通过对压电薄膜的介电系数以及加工环节中流程对压电薄膜介电系数的影响进行分析，可以得出压电薄膜的结晶相本征介电性和压电薄膜的尺寸效应是介电特性主要的变化依据，根据分析结果，进行了初始薄膜制备、单轴拉伸、高压极化、磁控溅射等制备工艺，对每项工艺步骤的参数进行探索，并对PVDF敏感材料进行传感器封装，进行了传感器产品非常重要的压电系数参数的检测，其静态压电系数d33达到13.1PC/N，满足使用要求，获得可以实际工程配套的工程化产品，提高了对压电薄膜的自动化加工效果，且在保障加工效率的同时对压电薄膜的介电性起到了保障的作用。
声明：
“能够提升介电性能的压电薄膜生产工艺” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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