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悬浮多电极范德华异质结电子器件及其制备方法

987   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:08:02
本发明属于纳米材料技术领域，具体涉及一种悬浮多电极范德华异质结电子器件及其制备方法。本发明将二维范德华纳米功能材料与传统纳米机电系统进行耦合，采用“自下而上”垂直堆叠将范德华异质结悬浮于带有底栅的阵列孔洞表面，并通过微纳加工与等离子刻蚀等技术手段，可获得多电极、阵列化悬浮范德华微纳器件，具有重复性高，普适性强等特性，有利于进一步集成至模块化电路，在一定程度上缩小了器件的尺寸，为基于范德华材料及其异质结的微纳传感器件制备提供了指导。
声明：
“悬浮多电极范德华异质结电子器件及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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