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表面增强红外吸收衬底及其制备方法

1000   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:07:02
本发明提供了一种表面增强红外吸收衬底及其制备方法，属于功能材料技术领域。本发明利用模板微球光刻加等离子体刻蚀的方式，能够简单、低成本、大面积的制备表面增强红外吸收(SEIRA)衬底，且制备得到的SEIRA衬底中柱体阵列周期性好，保证SEIRA衬底具有较高的增强效率，解决了现有技术中SEIRA衬底无法兼顾低成本和高增强效率的问题。
声明：
“表面增强红外吸收衬底及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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