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氧化镉基透光波段可调的导电薄膜制备方法

1216   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:07:01
本发明提供了一种氧化镉（CdO）基透光波段可调的导电薄膜制备方法。该方法的核心技术是导电薄膜的透光波段与导电薄膜中铟（In）组分的含量相关，In组分含量的变化与磁控溅射靶材、溅射功率，与靶材和基片之间的距离相关，导电薄膜厚度与薄膜沉积时间长短相关。该方法以双面抛光玻璃基片为衬底，将两种靶材的溅射参数调至设计数值，进行溅射沉积：测量获得透明导电薄膜中In的含量。本发明所制备的不同铟（In）含量的氧化镉（CdO）基透明导电薄膜，可供不同半导体材料体系太阳能电池选用，使光谱响应范围内的太阳光更多地射入太阳能电池半导体结构中，从而可最大限度地提高太阳能电池的光利用效率，在太阳能电池、光电探测等光电功能材料和器件领域中具有良好的应用前景。
声明：
“氧化镉基透光波段可调的导电薄膜制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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