本发明属于电子
功能材料与器件领域,具体涉及一种高
储能特性的柔性钛酸铋钠基薄膜电容器及其制备方法。本发明的薄膜电容器,由柔性云母基片、Pt薄膜底电极、铁电薄膜层和金属Pt或Au顶电极组成。本发明的薄膜电容器,以钛酸铋钠基铁电薄膜作为功能层,其化学通式为0.97(0.94Na
0.5Bi
0.5TiO
3‑0.06BaTiO
3)‑0.03BiFeO
3‑xCeO
2‑yMnO
2,其中0≤x≤1%,0≤y≤2%,且y>x。本发明工艺简单、成本低廉,所制备的柔性钛酸铋钠基薄膜电容器耐弯折、储能密度大、储能效率高、热稳定性好、损耗低,可满足柔性储能元器件的要求。
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“高储能特性的柔性钛酸铋钠基薄膜电容器及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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