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基于MoO3纳米带修饰石墨烯的室温FET型氢气敏感元件的制备方法及应用

770   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:06:02
本发明公开一种基于MoO3纳米带修饰石墨烯的室温FET型氢气敏感元件的制备方法及应用，属于无机纳米功能材料技术领域，其主要步骤包括：A：水热法制备MoO3纳米带粉末；B：用磁控溅射法制备FET型氢敏元件的源极、漏极和栅极；C：采用喷涂成膜法将配置好的MoO3纳米带混合液喷涂到源漏电极的中心部位；D：退火处理。本发明中采用对氢气敏感的MoO3纳米带修饰在石墨烯表面，可以明显的提高石墨烯基传感器的性能，因此在氢气的检测过程中，有很大的应用价值。
声明：
“基于MoO3纳米带修饰石墨烯的室温FET型氢气敏感元件的制备方法及应用” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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