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ZnO薄膜激光烧蚀制作方法

928   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:06:02
ZnO薄膜激光烧蚀制作方法属于光学功能材料技术领域。现有用来制作ZnO薄膜的方法实施起来十分不易。本发明之ZnO薄膜激光烧蚀制作方法属于一种Sol‑Gel法，其特征在于，将乙酸锌溶于有机溶剂，加入与锌离子等物质量的乙醇胺，搅拌后得溶胶液；将所述溶胶液旋涂于基片上，低温热处理得凝胶膜；采用激光烧蚀所述凝胶膜，激光功率为5～30W，烧蚀时间为1～1000sec，激光光源出光口与凝胶膜之间的距离为1～50cm，得ZnO薄膜。相比于现有脉冲激光沉积法，本发明之方法既不需要真空环境，也不需要特殊的保护气氛，工艺条件比较宽松；不需要制作ZnO陶瓷靶，使得薄膜的制作方法大为简化。
声明：
“ZnO薄膜激光烧蚀制作方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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