一种锆酸铅纳米复合电介质薄膜及其制备方法,属于电子材料、
功能材料和智能材料的技术领域,所述材料的Al:PbZrO3体积比为0.5‑2.0%:99.5‑98.0%,富铝纳米粒子以层状分布在锆酸铅基体上,其击穿电场强度和
储能密度与锆酸铅薄膜对比分别提高了约182%和68%。该材料是通过真空蒸镀和化学溶液沉积法制备的,具有工艺简单、成本低廉、可大面积均匀成膜等优点,将在脉冲功率器件领域有着广泛的应用。
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