亚稳态AlZnO固溶合金薄膜激光烧蚀制作方法属于光学
功能材料技术领域。现有用来制作AlZnO固溶合金薄膜的方法十分繁琐。本发明之亚稳态AlZnO固溶合金薄膜激光烧蚀制作方法属于一种Sol‑Gel法,其特征在于,确定AlxZn1‑xO中的x的值为:0<x<1,按所述x的值确定乙酸锌和乙酸铝的摩尔比,将所述乙酸锌和乙酸铝溶于有机溶剂,加入与锌离子和铝离子等物质量的乙醇胺,搅拌后得溶胶液;将所述溶胶液旋涂于基片上,低温热处理得凝胶膜;采用激光烧蚀所述凝胶膜,激光功率为5~30W,烧蚀时间为1~1000sec,激光光源出光口与凝胶膜之间的距离为1~50cm,得亚稳态AlZnO固溶合金薄膜。
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