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基于MEMS工艺的LED封装技术

968   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:06:02
本发明涉及一种LED封装技术，尤其是涉及一种基于MEMS工艺的LED封装技术。所述封装技术包括：采用Si基板作为封装载体，采用锡膏作其贴片胶，采用共晶回流作为焊接手段，采用MEMS工艺直接在Si基板制作支架，采用参杂高折射率的纳米级光介质以及荧光粉的硅胶灌封材料，采用凸型光窗作为灌封方式。和现有技术相比，本发明的优点是采用Si基MEMS技术，可以将LED封装的功能材料属性和结构材料属性完美的结合，通过半导体工艺实现静电保护功能和COB结构的电器互连,通过MEMS工艺实现封装的光学结构。Si材料具有较低的热阻和成熟的加工工艺，可以实COB低成本、大规模的批量生产。
声明：
“基于MEMS工艺的LED封装技术” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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