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耐事故包壳Cr/CrN复合涂层的制备方法

920   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:05:02
本发明公开了一种耐事故包壳Cr/CrN复合涂层的制备方法，属于功能材料制备技术领域。本发明利用梯度反应磁控溅射技术，首先在Zr‑4基底上制备一层Cr层，两种金属的匹配性很好，具有优异的结合力，然后通过逐渐增加溅射舱内的N2含量，先沉积亚化学计量比的CrxNy，此时涂层内既存在金属键又存在离子键，有效的增强了结合力，最后在溅射舱内N2的含量达到一定程度时，溅射出的Cr靶材粒子会全部生成CrN，实现外层CrN的沉积，使获得的复合涂层在保证具有较好的高温抗氧化性能和耐磨性能的同时，大大提升了涂层的结合力，达到涂层包壳的应用要求。
声明：
“耐事故包壳Cr/CrN复合涂层的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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