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基于化学法制备自支撑BaTiO3单晶薄膜的工艺

683   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:05:02
本发明属于信息功能材料、功能薄膜和柔性电子技术领域，涉及一种基于化学法制备自支撑BaTiO3单晶薄膜的工艺，该工艺为：在不同单晶基片上，采用化学旋涂的方式首先在基片上外延生长Sr3Al2O6/BaTiO3结构；利用Sr3Al2O6的可溶于水的特性，将其浸泡在去离子水中12h小时以上，充分溶解即可得到自支撑BaTiO3单晶薄膜。本申请可以通过控制前驱液浓度、旋涂转速、退火次数调控单晶薄膜厚度；在使用化学旋涂法生长BaTiO3单晶薄膜过程中不会对Sr3Al2O6薄膜层造成损害。该方法适用于大面积柔性功能层的剥离，对全化学法制备自支撑氧化物钙钛矿单晶薄膜具有重要意义。
声明：
“基于化学法制备自支撑BaTiO3单晶薄膜的工艺” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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