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极紫外波段薄膜滤片及其制备方法和应用

1042   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:05:01
本发明提供了一种极紫外波段薄膜滤片及其制备方法和应用，属于环境功能材料和水污染控制技术领域。本发明在Mg中掺Si，一定程度上可减小Mg的应力，Si可以穿透Mg的晶格，抑制Mg的结晶，并且原子半径较小的Si占据Mg膜中的空位而产生拉伸作用，这种拉伸作用随着Si掺杂质量分数的增大逐渐占据对薄膜应力的主导作用，从而使Mg从压应力转变为张应力，进而提高了极紫外波段薄膜的机械性能，同时不影响透过率。
声明：
“极紫外波段薄膜滤片及其制备方法和应用” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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