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硫化法在金属箔片衬底上制备ZnS薄膜的方法

1048   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:05:01
本发明涉及功能材料技术领域，具体涉及一种硫化法在金属箔片衬底上制备ZnS薄膜的方法。硫化法在金属箔片衬底上制备ZnS薄膜的方法，选用铝箔作为衬底材料，剪成小片，分别用丙酮、超声清洗，将铝箔衬底装入磁控溅射系统的样品位置；在磁控溅射系统真空室中装载纯度为99.99％的金属Zn靶；启动机械泵粗抽真空，抽高真空，通入Ar作为工作气体，工作气压为0.5Pa。溅射Zn薄膜后进行硫化处理，取１g硫粉和样品放入石英舟，再将石英舟推入管式加热炉中，硫化加热，然后停止加热，随炉冷却，直至管式炉温度降至室温后取出。本发明以铝箔作为衬底材料，用磁控溅射沉积Zn薄膜再进行硫化处理的两步法制备ZnS薄膜，薄膜表面致密，由圆形的晶粒组成。
声明：
“硫化法在金属箔片衬底上制备ZnS薄膜的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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