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磁声表面波磁场传感器及其制备方法

681   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:04:03
一种磁声表面波磁场传感器及其制备方法，属于电子功能材料与器件技术领域。该传感器包括压电薄膜、磁致伸缩薄膜、衬底基片；磁致伸缩薄膜位于压电薄膜和衬底基片之间；磁致伸缩薄膜的厚度为所述压电薄膜厚度的2～5倍；压电薄膜表面具有叉指换能器，叉指换能器与压电薄膜一起构成声表面波器件。压电薄膜以及叉指换能器表面覆盖有一层SiO2。当传感器处于谐振状态时，如果存在外加磁场变化，磁致伸缩层的杨氏模量就会发生变化，进而影响到压电层中声表面波的传播速度，此时通过检测谐振中心频率的变化就可知外加磁场的变化。SiO2覆盖层可以补偿压电薄膜的频率温度系数，实现接近零频率温度系数。本发明具有微型化、易集成、灵敏度高、一致性号、稳定可靠的特点。
声明：
“磁声表面波磁场传感器及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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