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高分辨率超长一维纳米图案制备方法

632   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:04:02
一种高分辨率超长一维纳米图案制备方法，其特征是包括如下步骤：步骤1)在平整衬底(1)上交替沉积不可腐蚀纳米薄膜层(2)和可腐蚀纳米薄膜层(3)；步骤2)切开平整衬底(1)、不可腐蚀纳米薄膜层(2)和可腐蚀纳米薄膜层(3)，在断口选择性地对可腐蚀纳米薄膜层(3)进行腐蚀，使得其与不可腐蚀纳米薄膜层(2)之间形成落差。本发明方法可应用于高分辨率超长多种一维纳米图案的制备，且该方法制备分辨率高，工艺简单，能高效率，低成本地在多种功能材料表面制备一维纳米图案，能够很好的满足实际需求。
声明：
“高分辨率超长一维纳米图案制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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