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高频段声表面波器件电极的制备方法

585   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:04:02
本发明公开一种高频段声表面波器件电极的制备方法，步骤包括：S1.在压电功能材料的衬底基片上使用负胶对待制备电极中叉指电极的轮廓进行曝光；S2.曝光显影后金属沉积，得到带有叉指电极轮廓图形的金属涂层；S3.将轮廓图形外的冗余金属层进行机械剥离，得到最终的对应叉指电极的密集图形；S4.使用正胶对待制备电极中汇流条和焊盘进行曝光、金属沉积；S5.对沉积后金属层使用溶脱工艺剥离冗余金属层，得到对应汇流条和焊盘的电极图形，完成电极的制备。本发明能够制备得到兼具高分辨密集图形和大尺寸图形的纳米SAW器件电极，且具有实现操作简单、成本低、制备效率及良率高、SAW电极质量高及通用性好等优点。
声明：
“高频段声表面波器件电极的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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