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基于VO2薄膜的柔性呼吸传感器及其制备方法

1100   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:04:01
本发明属于功能材料合成领域，具体涉及一种基于氧化钒(VO2)薄膜的柔性呼吸传感器及其制备方法，克服了VO2纳米线传感器测量误差大、制备工艺复杂以及应用难度大的缺陷。本发明基于VO2薄膜的柔性呼吸传感器，包括聚酰亚胺薄膜、设置于聚酰亚胺薄膜上的平行金电极、覆盖于平行金电极上的VO2薄膜、以及覆盖于VO2薄膜上的聚二甲基硅氧烷；该呼吸传感器基于VO2薄膜实现，其结构简单、制备工艺简单、制备成本低，对呼吸频率、呼吸深度具有良好的监测，测量误差小；同时，本发明还提供该呼吸传感器的制备方法，该制备方法工艺简单、成本低廉，具有良好的工艺可控性和重复性，有利于大规模批量化生产。
声明：
“基于VO2薄膜的柔性呼吸传感器及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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