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透明导电膜的等离子体增强化学气相沉积设备

702   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:04:01
本发明名称为“透明导电膜的等离子体增强化学气相沉积设备”,属于光电功能材料的规模化生产设备。本发明为实施特殊金属氧化物薄膜的制造技术,着重解决大面积薄膜的性能优良,厚度均匀及废气排放等问题。其特点在于设置了特殊的均压喷口,用接地电极对射频电极进行充分的屏蔽、安装冷阱捕集反应废气。本发明适用于多种氧化物薄膜的大面积制造。
声明：
“透明导电膜的等离子体增强化学气相沉积设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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