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具有籽晶层的锆钛酸钡钙薄膜及其制备方法和应用

763   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:03:01
本发明属于功能材料与器件领域，具体涉及一种具有籽晶层的锆钛酸钡钙薄膜及其制备方法。所述锆钛酸钡钙薄膜包括基片层、籽晶层和薄膜层，所述籽晶层在所述基片层和薄膜层之间，所述籽晶层和薄膜层的化学通式为Ba(1?x)CaxTi(1?y)ZryO3，其中x=0.01～0.16，y=0.02～0.12。所述制备方法使用低浓度前驱体溶液制备籽晶层，然后再用高浓度前驱体溶液制备锆钛酸钡钙薄膜，解决了锆钛酸钡钙薄膜制备过程中开裂的问题，提高无铅薄膜的压电性和介电性，且低成本和可控，制得的具有籽晶层的锆钛酸钡钙薄膜平整度高，均匀性好，无裂纹，质量高，使其在微机电系统、铁电存储系统或多功能集成器件中得到实际应用。
声明：
“具有籽晶层的锆钛酸钡钙薄膜及其制备方法和应用” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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