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柔性可穿戴非晶碳基应力传感器及其制备方法

897   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:03:01
本发明公开了一种柔性可穿戴非晶碳基应力传感器及其制备方法。传感器的结构为以非晶碳a‑C薄膜/柔性衬底为功能材料,在a‑C薄膜的两端设置银电极，由导电胶引出。本发明提供的压力敏感材料的制备，以硅片为衬底，在衬底上生长氧化层为牺牲层，采用化学或物理的方法，在牺牲层上生长功能性薄膜材料；将柔性衬底粘贴于功能性薄膜表面，再采用酸腐蚀方法将牺牲层腐蚀后，得到一种柔性功能材料。本发明提供的应力传感器具有优异的灵敏度和可弯曲特性，抗疲劳性好；并且结构简单，成本低廉，使用方便、安全、可靠，可广泛用于可穿戴领域。
声明：
“柔性可穿戴非晶碳基应力传感器及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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