本发明公开了一种柔性可穿戴非晶碳基应力传感器及其制备方法。传感器的结构为以非晶碳a‑C薄膜/柔性衬底为
功能材料,在a‑C薄膜的两端设置银电极,由导电胶引出。本发明提供的压力敏感材料的制备,以硅片为衬底,在衬底上生长氧化层为牺牲层,采用化学或物理的方法,在牺牲层上生长功能性薄膜材料;将柔性衬底粘贴于功能性薄膜表面,再采用酸腐蚀方法将牺牲层腐蚀后,得到一种柔性功能材料。本发明提供的应力传感器具有优异的灵敏度和可弯曲特性,抗疲劳性好;并且结构简单,成本低廉,使用方便、安全、可靠,可广泛用于可穿戴领域。
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