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化学气相沉积金刚石或其它物质的装置

936   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:03:01
本发明提供了一种化学气相沉积金刚石或其它物质的装置,涉及功能材料制备技术领域。本装置包括直流电弧喷射等离子炬,真空室,衬底,在真空室和等离子炬间设有气体回用机构。与已有技术对比,本发明很好地解决了现有技术利用直流电弧喷射法化学气相沉积金刚石过程中长期存在的气体消耗量大的问题,其结构简单,工艺合理,不仅能保证产品的质量,而且可大大节省工质气体用量,大大降低成本,减少排放,有利于环保,具有良好的经济效益和社会效益。
声明：
“化学气相沉积金刚石或其它物质的装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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