一种基于负泊松比磁致伸缩衬底的磁电声表面波器件,属于电子信息
功能材料与器件技术领域。所述磁电声表面波器件包括磁致伸缩衬底、压电薄膜和叉指换能器,磁致伸缩衬底为具有负泊松比和拉胀效应的磁致伸缩材料,其厚度大于2倍声表面波波长。本发明提供的磁电声表面波器件中,采用具有负泊松比和拉胀效应的磁致伸缩块材作为磁致伸缩衬底,衬底厚度可达到毫米级别,有效改善了对压电薄膜厚度的限制;本发明提供的磁电声表面波器件在获得优良取向的压电薄膜的同时,可显著提高器件的工作中心频率f0,使得后端频率计数器能更加准确地测试中心频率随磁场的变化,有利于提高磁场探测的灵敏度。
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