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钛酸铋钠基无铅压电薄膜及其制备方法

925   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-18 15:03:01
本发明涉及涉及一种钛酸铋钠基无铅压电薄膜及其制备方法,属于电子功能材料和器件领域。本发明提供的制备方法包括如下步骤:步骤1,将硝酸铋、乙酸钠、乙酸锶加入溶剂,搅拌得溶液A;步骤2,将乙酰丙酮、钛酸四丁酯、九水合硝酸铁、四水合乙酸锰溶于溶剂,搅拌、加热,得溶液B;步骤3,将溶液A与溶液B混合,预处理后得混合液C;以及步骤4,用旋涂法将混合液C涂覆在处理好的基片上,高温处理后,即得(0.72‑x)(Bi0.5Na0.5)TiO3‑0.28SrTiO3‑xBi(Fe0.95Mn0.03Ti0.02)O3三元体系钛酸铋钠基无铅压电薄膜。所以,本发明制备得到的压电薄膜表面平整光滑、具有典型的钙钛矿结构、较高的极化强度以及优异的压电性能,同时逆压电系数最高可达179.7皮米/伏,对于开发高性能无铅压电薄膜具有非常重要的意义。
声明:
“钛酸铋钠基无铅压电薄膜及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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