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磁遥控驱动微结构的制备方法

904   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:03:01
本发明属于微机电领域,具体涉及一种利用三维激光加工技术制备磁遥控驱动微结构的方法。其首先利用物理或化学方法合成磁性材料,然后将磁性材料与光敏聚合材料体系共混制备磁性光刻胶,再利用搭建的激光三维加工系统逐点扫描磁性光刻胶,显影后即获得磁遥控驱动的微结构器件。制备的微结构充分利用了各种磁性材料的制备工艺及其磁学性质,并将激光加工技术与磁功能材料有机结合,突破了传统激光聚合材料只是起结构支撑作用的局限,进而利用铁磁或电磁实现该微结构驱动。其最大特点是该驱动方式简单、易操作、无接触、可遥控,并且该制备过程不受微结构形状的限制,可以加工包含曲面在内的任意三维结构。
声明：
“磁遥控驱动微结构的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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