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在Si衬底上制备高(100)取向BiFeO3薄膜的方法

1123   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:02:32
本发明公开了一种在Si衬底上制备高(100)取向BiFeO3薄膜的方法,属于功能材料制备技术领域。对Si衬底进行预处理;利用脉冲激光沉积方法,采用LaNiO3靶材,在上述衬底上制备高取向的LaNiO3薄膜;利用脉冲激光沉积方法,采用BiFeO3靶材,在LaNiO3薄膜上制备高取向的BiFeO3薄膜。本发明制备的产品兼容性好,膜晶粒大小均匀,排列致密,结晶度高,取向性好。
声明：
“在Si衬底上制备高(100)取向BiFeO3薄膜的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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