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使用双释放层的功能纳米颗粒的纳米压印光刻形成

1063   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:02:31
功能纳米颗粒可使用至少一个纳米压印光刻步骤形成。在一个实施例中，可使用压印光刻工艺将牺牲材料图案化在多层基底上，该多层基底包括在可移除层之间的一个或多个功能层。该功能层中的至少一个层包括功能材料，诸如制药复合物或成像剂。该图案可被进一步蚀刻到该多层基底中。该功能材料的至少一部分随后可被移除以提供露出柱体的冠表面。移除该可移除层将该柱体从该图案化表面释放以形成功能纳米颗粒，诸如药物或成像剂载体。
声明：
“使用双释放层的功能纳米颗粒的纳米压印光刻形成” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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