本发明涉及一种多孔质二氧化硅形成用涂布液,其特征为:较佳含有烷氧基
硅烷化合物的部分水解缩合物、界面活性剂、和有机两性电解质,且其金属含量为50ppb或其以下。以往的多孔质二氧化硅形成用涂布液,一旦保存期间变长,就会有所得到的多孔质二氧化硅膜的细孔的排列规则性变低的情形。与此相反,若根据本发明的多孔质二氧化硅形成用涂布液,则可提供一种具有优良的保存稳定性的涂布液。即,所得到的多孔质二氧化硅的性能不易受到上述涂布液的保存期间的影响。因此,期望能贡献于稳定地生产一种多孔质二氧化硅,即使将其暴露于电场,也不会引起电容、电压的偏移,并且具有规则排列的均匀的细孔,可适合用作为光
功能材料或电子功能材料的多孔质二氧化硅膜。
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