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片状液相纳米颗粒制备方法

670   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-18 15:02:31
一种片状液相纳米颗粒制备方法,包括如下步骤:(1)在平整衬底上沉积可溶解的牺牲层薄膜材料;(2)再在牺牲层上沉积功能材料;(3)在功能材料层上沉积并制备聚合物材料的纳米图案;(4)以聚合物材料的纳米图案作为刻蚀掩模,利用刻蚀技术将纳米图案转移到下层的功能材料层上,再用刻蚀技术除去多余的聚合物材料;(5)利用合适的液体将牺牲层溶解,同时得到液相的片状功能材料纳米颗粒,颗粒形状与纳米图案一致。本发明方法可应用于制备任意图案的片状液相纳米颗粒,纳米颗粒可以是单层或多层不同材料组合而成;该方法制备工艺简单,可以高效率,低成本地制备最小尺寸为5纳米,最小厚度为0.1纳米且尺寸均一的液相片状纳米颗粒,能够很好的满足实际需求。
声明:
“片状液相纳米颗粒制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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