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薄膜材料集成方法

1037   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:02:31
本发明涉及一种薄膜材料集成方法，包括提供一基底；形成石墨烯层于所述基底的上表面；形成至少一功能材料层于所述石墨烯层的上表面；形成刚性临时基底层于所述石墨烯层的上表面，所述刚性临时基底层覆盖所述功能材料层；将由所述刚性临时基底层、所述功能材料层组成的叠层结构从所述石墨烯层表面机械剥离；将所述叠层结构转移至目标衬底，所述功能材料层与所述目标衬底的表面接触；去除所述刚性临时基底层，并使所述功能材料层留在所述目标衬底的表面。本发明通过选用刚性临时基底，有利于减小功能材料层在工艺过程中的变形，实现与目标衬底的晶圆级对准集成。
声明：
“薄膜材料集成方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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