本申请提供了一种二维
功能材料各向异性的微纳力学测试方法,其技术要点在于:首先采用聚二甲基硅氧烷辅助剥离的方法制备大面积均一的各向异性材料;然后,通过角分辨拉曼光谱识别主轴方向;再然后,利用聚焦离子束法或反应离子刻蚀法将样品沿不同晶轴方向加工为矩形条带试样,通过探针转移的方法将试样转移至MEMS原位拉伸
芯片上,结合扫描电子显微镜技术分别对各向异性材料的两个主轴方向进行原位拉伸;在上述原位拉伸试验中,记录载荷一应变曲线的同时原位可视化材料的拉伸变形以及断裂过程;同时建立单轴应力模型计算得到试样的应力‑应变曲线,从而实现全面了解各向异性材料的面内力学性质差异。
声明:
“二维功能材料各向异性的微纳力学测试方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)