本实用新型涉及一种微区可控纳米
功能材料合成加热装置,解决了现 有纳米功能材料合成设备存在的体积庞大、耗能、耗时、合成方法单一且 可控性差的问题。本实用新型包括矩形盒体和盒盖,盒体相对应的两侧壁 上分别设有进气接口和出气接口,另两侧壁上分别设有电线接口;盒体内 由下至上依次设有冷却水管、散热基座、工作台、接线台、下平板和上平 板,工作台中部设有上大下小的阶梯形孔,接线台上设有接线头和探针。 本实用新型体积小,体积为240dm3,便于移动;抽真空耗时缩短至5-15分 钟,升温与冷却时间高度可控,可在2-10分钟内完成整个升降温过程;可 以在已做好外电路的硅衬底上制备纳米结构;可在同一衬底上集成多种纳 米结构;水、电、气消耗减少至原先的5-10%。
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