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微区可控纳米功能材料合成加热装置

1031   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:02:29
本实用新型涉及一种微区可控纳米功能材料合成加热装置，解决了现 有纳米功能材料合成设备存在的体积庞大、耗能、耗时、合成方法单一且 可控性差的问题。本实用新型包括矩形盒体和盒盖，盒体相对应的两侧壁 上分别设有进气接口和出气接口，另两侧壁上分别设有电线接口；盒体内 由下至上依次设有冷却水管、散热基座、工作台、接线台、下平板和上平 板，工作台中部设有上大下小的阶梯形孔，接线台上设有接线头和探针。 本实用新型体积小，体积为240dm3，便于移动；抽真空耗时缩短至5-15分 钟，升温与冷却时间高度可控，可在2-10分钟内完成整个升降温过程；可 以在已做好外电路的硅衬底上制备纳米结构；可在同一衬底上集成多种纳 米结构；水、电、气消耗减少至原先的5-10％。
声明：
“微区可控纳米功能材料合成加热装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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