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柔性电子功能材料及其制备方法

1057   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:02:28
本发明公开了一种柔性电子功能材料及其制备方法。以硅片为衬底，在衬底上生长氧化层为牺牲层；采用化学或物理的方法，在牺牲层上生长功能性薄膜材料；将柔性衬底粘贴于功能性薄膜表面，再采用酸腐蚀方法将牺牲层腐蚀后，得到一种柔性电子功能材料。本发明针对现有的柔性电子功能材料制备工艺无法在高温条件下实现，以及某些功能材料不能制备成柔性器件的不足，采用先制备牺牲层，并在高温等苛刻条件下生长所需要的功能层，再利用腐蚀剥离的方法，得到一种既有良好的柔韧特性，又能具备所需功能的柔性电子材料，具有原材料价格低廉，制备工艺简单、环保的特点。
声明：
“柔性电子功能材料及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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