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用于将靶材料沉积在有机电功能材料上的方法

841   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:02:28
本发明涉及用于将靶材料沉积在有机电功能材料上的方法，所述方法包括以下步骤：提供具有有机电功能材料如电致发光发射层的衬底；通过脉冲激光沉积产生靶材料的蒸气羽流；将第一层靶材料沉积在有机电功能材料上，同时保持沉积微粒的最大微粒速率低于预设值；和将第二层靶材料沉积在第一层靶材料上，同时沉积微粒的最大微粒速率高于预设值。本发明还涉及中间产品和涉及有机发光二极管。
声明：
“用于将靶材料沉积在有机电功能材料上的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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