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全干法功能材料剥离的方法

712   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:02:28
本发明揭示了一种全干法功能材料剥离的方法。本发明通过对衬底进行修饰以降低光刻胶与衬底的粘附力，然后在光刻胶上曝光出所需的结构，再对图案化光刻胶之后的样品镀上功能材料，利用黏贴层选择性的把光刻胶及其上面的功能材料撕走，从而留下图案化之后的功能材料反结构，即代替了现有的湿法剥离方案，实现了高精度绿色的干法剥离。
声明：
“全干法功能材料剥离的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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