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图案形成方法及多层布线结构形成方法

1000   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:02:22
本发明提供了一种图案形成方法,该方法包括(I)在表面上设置与基板直接化学结合的接枝聚合物,制造基板的接枝聚合物生成步骤、(II)通过液滴喷出法,按照预定的图案形状,在生成上述接枝聚合物的表面上配置将粒子分散在液体(分散介质)中形成的分散液液滴的粒子分散液配置步骤和(III)从上述配置的液滴中蒸发掉液体(分散介质),按照预定的图案形状在上述基板上形成由粒子构成的层的粒子图案形成步骤。
声明：
“图案形成方法及多层布线结构形成方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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