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加热装置、真空加热方法和薄膜制造方法

827   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:02:22
一种加热装置，其具备：应在真空中被加热的被加热体；构成为能够从被加热体分离、并且在自身与被加热体之间形成有间隙的加热体；和用于向间隙导入传热气体的气体导入路径。被加热体通过传热气体由加热体加热。加热装置的例子是蒸着装置（30）。被加热体的例子是保持蒸镀材料，并且具有供蒸发了的蒸镀材料通过的开口部的贮藏容器（9）。加热体的例子是可拆装地收纳贮藏容器（9）、并且为了对贮藏容器（9）内的蒸镀材料进行加热而具有加热器（20）的加热容器（10）。气体导入路径的例子是气体导入管（11）。
声明：
“加热装置、真空加热方法和薄膜制造方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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