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多晶硅全熔铸锭用坩埚及其制备方法和应用

849   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:02:22
本申请公开了一种多晶硅全熔铸锭用坩埚及其制备方法和应用，属于光伏技术领域。该多晶硅全熔铸锭用坩埚的制备方法，包括下述步骤：1)将坩埚的内底部固定石英砂颗粒；2)将步骤1)制备的坩埚内底部喷涂第一脱膜层，坩埚内侧壁喷涂第二脱膜层；所述第一脱膜层的厚度大于第二脱膜层的厚度。第一脱膜剂和第二脱膜剂均包含氮化硅。本申请的方法制备的坩埚即可以防止多晶硅的氧化，又可以防止多晶硅锭的粘锅，坩埚底部的疏松粗糙表面提供了多种引晶方式，具有石英砂形核、缝隙形核和氮化硅形核，多种引晶并存缩短了多晶铸锭的周期，多晶铸锭的良率高。
声明：
“多晶硅全熔铸锭用坩埚及其制备方法和应用” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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