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提高氮化铝覆铝封装衬板耐热循环可靠性的办法

1096   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:02:22
本发明提供了一种提高氮化铝覆铝封装衬板耐热循环可靠性的办法，本发明中，在氮化铝覆铝陶瓷基板表面溅射镀铜并进行真空扩散烧结，在铝表面层引入微量铜元素，形成均匀的铜铝固溶体硬化层，再对其进行表面进行化学镀镍处理在表面形成均匀镀镍层，处理后的氮化铝覆铝封装衬板在热循环前后的粗糙度对比相差不大，通过本方法，降低了镀层表面应力集中和镀层开裂情况，提高了氮化铝覆铝封装衬板在极端条件下的耐热循环可靠性。
声明：
“提高氮化铝覆铝封装衬板耐热循环可靠性的办法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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