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有机-金属纳米复合薄膜及其制备方法和应用

868   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:02:21
本发明公开了一种有机‑金属纳米复合薄膜及其制备方法和应用，属于复合材料技术领域。有机‑金属纳米复合薄膜由基底层和氟碳‑钛复合薄膜层组成。制备方法为：打磨聚四氟乙烯靶材和钛靶材，清洗；然后进行预溅射；利用共溅射在基底层表面沉积氟碳‑钛复合薄膜；然后进行高温退火，即可。本发明的有机‑金属纳米复合薄膜的制备方法，通过采用射频‑直流共溅射，改变薄膜沉积状态的变化以调控纳米级表面形貌、化学组分含量；通过调整高温退火工艺以调控薄膜结晶度，使制得的复合薄膜表现出不同的浸润性能和二次电子发射特性，且具有纯度高、沉积面积大、物相结构高度可控等优点，从而使其应用广泛，具有显著的推广实用价值。
声明：
“有机-金属纳米复合薄膜及其制备方法和应用” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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