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梯形阵列式压力传感器的制备方法

879   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:02:21
本发明涉及一种梯形阵列式压力传感器的制备方法，包括以下步骤：S1)利用金属材料制备梯形长条状的金属模板；S2)、利用电泳技术将导电增强材料均匀分布到金属模板上；S3)、在金属模板上均匀涂覆一层厚度为50‑500微米的PDMS薄膜层；S4)、脱模，将导电增强材料转移到具有梯形长条状阵列结构的PDMS薄膜层上；S5)、利用氧化铟锡(ITO)在PDMS薄膜层外包覆一层导电层，然后再包覆一层PET层，然后封装得到压力传感器。本发明制备工艺简单，成本低廉，适合工业化生产；通过电泳吸附，利用电流的均匀分布，提高导电材料分布的均匀性；Ag纳米线等导电增强材料附着在PDMS表面的微纳结构，一旦微纳结构发生变形，即可迅速产生响应，有利于提高器件的响应的灵敏度。
声明：
“梯形阵列式压力传感器的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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