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电加热设备用超温自保护晶闸管的制作方法

819   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:02:03
本发明涉及一种电加热设备用超温自保护晶闸管的制作方法，包括以下步骤：1)清洗硅片；2)石英闭管清洗；3)镓、铝源一次全扩散；4)P+扩散；5)氧化；6)一次光刻；7)磷扩散；8)割圆；9)烧结；10)蒸发；11)合金；12)二次光刻；13)台面成型；14)封装；15)晶闸管测试。1)在控制极回路中加入温度控制器，实现超高温保护；2)采用高纯镓、高纯铝源一次全扩散的制造工艺技术，扩散均匀，效率高；3)采用阳极P+扩散技术降低硅片与钼片接触的压降；4)烧结过程采用电脑程控仪控制设备烧结温度，精确稳定，一致性好；5)外密封管壳采用无氧铜加陶瓷密封，热阻小，防潮性能高。
声明：
“电加热设备用超温自保护晶闸管的制作方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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