本发明公开了一种无压液相烧结碳化硅陶瓷研磨盘的制作方法,具体步骤包括:造粒粉的制备、增韧材料的加入、
碳纤维编织体的浸渍处理、研磨盘坯体的预成型、研磨盘坯体的加工、研磨盘坯体的烧结、研磨盘的加工处理。本发明制得的研磨盘韧性好,径向强度高,可靠性好;本发明方法工艺简单、生产成本低、生产效率高,适于产业化制备高性能的碳化硅陶瓷研磨盘。
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