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铝铬合金靶材的制备工艺及其应用

860   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:02:03
本发明属于靶材制备技术领域，特别涉及一种铝铬合金靶材的制备工艺及其应用，靶材制备工艺包括步骤S1：合金粉末制备；步骤S2：将制备好的合金粉末装入包套中，通过螺栓和螺母固定方式将包套的左右两半块拼合固定，进行冷等静压处理；步骤S3：对合金靶材坯料进行第一次脱气处理；步骤S4：将步骤S3形成的合金靶材坯料进行第一次热等静压处理，并进行第二次脱气处理后取出包套；步骤S5：对第二次脱气处理后的料坯装入包套，进行第二次热等静压处理；步骤S6：对第二次热等静压处理的料坯取出包套，进行机加工和清洗处理，并进行真空热处理；步骤S7：在步骤S6获得的合金靶材表面修饰防腐层和隔热层。本申请致密性高，晶粒均匀，具有较好的机械性能。
声明：
“铝铬合金靶材的制备工艺及其应用” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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