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铝钪合金靶坯及其制备方法及应用

757   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:02:03
本发明涉及一种铝钪合金靶坯及其制备方法及应用。其中，铝钪合金靶坯包括：16‑50重量份的钪，50‑84重量份的铝，铝钪合金靶坯的含氧量小于等于160ppm。上述铝钪合金靶坯具有钪含量高、含氧量低，进而使得制备的靶坯不会发生异常放电或粒子溅疤，能够保证后期高品质成膜。
声明：
“铝钪合金靶坯及其制备方法及应用” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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