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低介电常数α‑Si3N4多孔陶瓷的制备方法

772   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:02:03
本发明公开了一种低介电常数α‑Si3N4多孔陶瓷的制备方法，按照如下步骤进行：a、以稻壳为原料，制备得到碳硅质前驱体，再添加α‑Si3N4粉体、烧结助剂，组成陶瓷原料；b、将凝胶物质和分散剂分散在去离子水中，与上述陶瓷原料混合，球磨4‑8h后取出，真空除泡10‑30min，形成浆料；然后水浴加热至40‑80℃，使浆料中的凝胶物质完全溶解，其中浆料的固相含量为35‑60％；c、将上述料浆注入预热的模具中，进行注凝成型，脱模干燥，得到坯体；最后烧结自然冷却至室温，即获得低介电常数α‑Si3N4多孔陶瓷。
声明：
“低介电常数α‑Si3N4多孔陶瓷的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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