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AZO靶材的制备方法及AZO靶材

989   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:02:02
本发明属于新材料领域，具体涉及一种AZO靶材的制备方法，包括：通过AZO原料制备AZO喷涂材料；以及将AZO喷涂材料通过喷涂方式制成AZO靶材。本申请的制备方法通过制备AZO喷涂材料和喷涂工艺两步制成AZO靶材，提高了靶材的均匀性，也简化了靶材的生产工艺，提高了生产效率，节约了生产成本。
声明：
“AZO靶材的制备方法及AZO靶材” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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