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AZO靶材的制备方法及AZO靶材

972   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-18 15:02:02
本发明属于新材料领域,具体涉及一种AZO靶材的制备方法,包括:通过AZO原料制备AZO喷涂材料;以及将AZO喷涂材料通过喷涂方式制成AZO靶材。本申请的制备方法通过制备AZO喷涂材料和喷涂工艺两步制成AZO靶材,提高了靶材的均匀性,也简化了靶材的生产工艺,提高了生产效率,节约了生产成本。
声明:
“AZO靶材的制备方法及AZO靶材” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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