本发明涉及YAG材料中掺杂元素Nd的激光剥蚀-电感耦合等离子体质谱定量分析方法,包括:1)制备Nd含量不同的Nd:YAG固体标准样品;2)采用电感耦合等离子体原子发射光谱法ICP-AES,测定各个Nd:YAG固体标准样品中Nd的准确含量;3)采用LA-ICP-MS联用仪器,分别测定步骤1)中制备的各个Nd:YAG固体标准样品的响应信号强度;4)采用步骤2)中测量的各个Nd:YAG固体标准样品中Nd的准确含量、以及步骤3)中测量的各个Nd:YAG固体标准样品的响应信号强度,绘制反映Nd的准确含量与响应信号强度之间关系的标准工作曲线;5)采用LA-ICP-MS联用仪器,测定待测Nd:YAG固体标准样品的响应信号强度,并根据Nd标准工作曲线,得出待测Nd:YAG固体标准样品中Nd的准确含量。
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