本发明揭示了一种铝钪靶材的制备方法,包括以下步骤:将铝钪合金块粉碎、筛分后得到铝钪合金粉末;将所述铝钪合金粉末与铝粉或钪粉按照一定比例进行混合,进行均质处理后得到混合粉末;将所述混合粉末进行烧结后得到铝钪靶坯;将所述铝钪靶坯进行机加工得到铝钪靶材。本发明提供的一种铝钪靶材的制备方法,通过采用铝钪合金粉末与铝粉或钪粉进行混合,制备低钪含量的铝钪靶材只需要添加铝粉混合,制备高钪含量的铝钪靶材只需要添加钪粉混合,不需要经过繁琐的熔炼过程,同时也能有效解决现有技术采用钪粉和铝粉混合后热压烧结,导致使用过多昂贵的金属钪粉而产生成分偏析、氧含量高和晶粒尺寸不均匀的技术问题。
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